Mỗi thiết bị đều được kiểm tra bằng phương pháp ngọn lửa nano{0}}và có hiệu suất lọc cao, điện trở thấp và khả năng giữ bụi lớn. Bộ lọc không khí hiệu suất cao-được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị đầu cuối điều hòa không khí của phòng sạch trong các ngành như quang điện tử, sản xuất LCD, dược phẩm sinh học, dụng cụ chính xác, đồ uống và thực phẩm cũng như in PCB. Cả bộ lọc-hiệu suất cao và bộ lọc hiệu suất cực-cao{6}} đều được sử dụng ở thiết bị đầu cuối phòng sạch và có thể được phân loại theo cấu trúc của chúng như sau: bộ lọc HEPA có bộ phân tách, bộ lọc HEPA không có bộ phân tách, bộ lọc HEPA thể tích-cao và bộ lọc hiệu suất cực-cao-.
Ngoài ra, còn có ba loại bộ lọc hiệu suất cao-cao khác: bộ lọc hiệu suất cực-cao{2}}, có thể đạt được hiệu suất lọc 99,9995%; màng lọc HEPA kháng khuẩn không có vách ngăn, có đặc tính kháng khuẩn và ngăn chặn vi khuẩn xâm nhập vào phòng sạch; và các bộ lọc hiệu suất phụ-cao{5}}, không tốn kém và trước đây được sử dụng trong môi trường phòng sạch ít đòi hỏi khắt khe hơn.