Thuật ngữ "thanh lọc" có lịch sử lâu đời trong tiếng Trung Quốc, ban đầu có nghĩa là "làm cho sạch và tinh khiết" và có thể đề cập rộng rãi đến tất cả các quy trình và công nghệ để loại bỏ tạp chất và loại bỏ ô nhiễm. Các thuật ngữ tiếng Anh tương ứng bao gồm "thanh lọc" (nhấn mạnh vào độ tinh khiết) và "sạch" (nhấn mạnh vào sự sạch sẽ). Do đó, thuật ngữ tiếng Anh cho kỹ thuật phòng sạch bao gồm "Kỹ thuật thanh lọc", "Kỹ thuật sạch" hoặc "Công nghệ phòng sạch" trong số những thuật ngữ khác. Ý nghĩa rộng này xác định rằng kỹ thuật phòng sạch có ý nghĩa riêng biệt trong các lĩnh vực khác nhau.
Kỹ thuật phòng sạch hiện đại, với công nghệ phòng sạch là cốt lõi, bắt nguồn từ những năm 1950. Trong Chiến tranh Triều Tiên, quân đội Hoa Kỳ phát hiện ra rằng nhiều thiết bị điện tử thường xuyên gặp trục trặc do bụi xâm nhập, điều này đã thúc đẩy sự phát triển của công nghệ lọc không khí, đặc biệt là nghiên cứu và ứng dụng bộ lọc không khí dạng hạt hiệu suất cao (HEPA). Năm 1961, Willis Whitfield của Phòng thí nghiệm quốc gia Sandia đã đề xuất sơ đồ tổ chức luồng không khí sạch "dòng chảy tầng" (nay được gọi chính thức là "dòng một chiều"), cho phép phòng sạch đạt được mức độ sạch chưa từng có. Cùng năm đó, Không quân Hoa Kỳ ban hành tiêu chuẩn phòng sạch đầu tiên trên thế giới và vào năm 1963, Tiêu chuẩn Liên bang Hoa Kỳ FED{11}}STD-209 được ban hành, đánh dấu sự hình thành ban đầu của hệ thống công nghệ phòng sạch. Sau đó, với sự phát triển nhanh chóng của các ngành công nghiệp như mạch tích hợp và y sinh, công nghệ kỹ thuật phòng sạch đã liên tục đổi mới và phát triển.
Tại Trung Quốc, "Quy tắc thiết kế phòng sạch" (GBJ 73-84) được ban hành vào năm 1984 và "Quy tắc chấp nhận và xây dựng phòng sạch" (JGJ 71-90) được ban hành vào năm 1990. Sau nhiều lần sửa đổi, một hệ thống tiêu chuẩn quốc gia với cốt lõi là "Quy tắc thiết kế phòng sạch" GB 50073-2013 đã được hình thành. Trên bình diện quốc tế, bộ tiêu chuẩn ISO 14644 do ủy ban kỹ thuật ISO/TC209 biên soạn là những hướng dẫn chung cho phòng sạch và các môi trường được kiểm soát liên quan. đất nước của tôi đã áp dụng các tiêu chuẩn này và triển khai chúng dưới dạng dòng GB/T 25915.